泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。
泵的极限压力为10-9Pa，工作压力范围为10-1～10-8Pa，抽气速率为几十到几千升每秒（1L=10-3m3）。
涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2Pa的前级真空泵。
分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。
抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单
工作范围：清洁的低真空~中、高真空，大气~超高真空
极限真空：10-6/ 10-10torr
缺点：结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高
