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冷场发射扫描电子显微镜m213451是专门为现今技术研究和发展设计的超高分辨率仪器 。独特之处在于使用复合检测器允许同时显示二次电子和背散射电子成像。可以以三维立体形态观察各种物质的原子或分子结构，具有比一般扫描或电子显微镜更卓越的性能。HITACHI
m213451在半导体设备和过程评估上也很有用，这种超高分辨率的电子显微装置可以采用1KV的加速电压，保证1.8nm的分辨率。采用了独特操作方式减少荷电假象和边缘效应，这些优异性能使其远远领先于其他扫描电镜。
