◎ 在30KV保证0.5nm
◎ 在1KV保证1.8nm(在2KV，可得到1.2nm)
2. 独特的检测方式可以同时显示二次电子(SE)和背散射电子(BSE)成像。
◎ 最大放大倍率1,000,000倍.
◎ 机器稳定性提高，在地面振动条件10mm(P-P)，5HZ条件下可以观察高达600，000倍的图像。
◎ 真空干燥系统，由分子涡轮泵和涡管泵组成，样品污染最小。
◎ 高速电子束系统减少样品镜筒污染。
◎ 大液氮冷阱减少样品污染。
◎ 侧面插入样的载物台适合高分辨率工作
◎ 不用改变物镜孔即可切换分辨率模式和EDX工作模式。
◎ 可以在所有操作方式(SE，BSE和STEM)间切换，因为样品位置可变。
5. 电脑控制的系统采集工作，影像处理，储存等于一体。
6. 节省能量的方式(真空状态下)保持仪器在低的能量水平运行。
