场发射环境扫描电子显微镜指标信息

2018/06/19171 作者：佚名

导读： 1、场发射环境扫描电子显微镜分辨率:二次电子像高真空模式:30KV时<2.0nm 低真空模式:3KV时<3.5nm ESEM环境真空模式:30KV时<2.0nm 罗宾逊探头，背散射电子像放大倍数 12X-1,000,000X 加速电压200V-30KV 样品室真空<6×10-4-4000Pa 三种真空模式:高真空、低真空和ESEM环境模式 2、X射线能谱仪分辨率:13

1、场发射环境扫描电子显微镜分辨率:二次电子像高真空模式:30KV时<2.0nm 低真空模式:3KV时<3.5nm ESEM环境真空模式:30KV时<2.0nm 罗宾逊探头，背散射电子像放大倍数 12X-1,000,000X 加速电压200V-30KV 样品室真空<6×10-4-4000Pa 三种真空模式:高真空、低真空和ESEM环境模式 2、X射线能谱仪分辨率:138eV 分析范围:B5-U92