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电子显微镜的光源是短波长的电子束，汇聚电子束的是磁透镜，探测器采集入射束跟样品作用后的二次信号(背散射电子，X光子等)，来获取样品的结构和成分信息 。扫描电镜用汇聚的电子束逐点逐行在样品表面扫描，由于样品形貌或成分不同，各点被激发出的二次信号的强度不同，探头采集这些信号来成像 。
