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1. 真空度测量范围: 9.999×10-1~1×10-5
2. 离子电流测量范围: 9.999×10-1~1×10-7
3. 测量误差: <10%
4. 测量分辨率: 10-5pa
5. 允许环境温度: -20℃~50℃
6. 空气湿度: ≤80%RH
7. 电源: AC/220V/50Hz±10%
8. 外型尺寸: 420×290×210(mm)
9. 高压输出: 脉冲30kV15kHz