1、Ф230×255mm玻璃真空室;
2、采用机械泵、四级玻璃质油扩散泵两级真空系统，扩散泵油量125~140ml，需水冷;
3、真空度:开机60分钟后可达5×10-3Pa，极限真空度:9.6×10-4Pa;恢复真空时间<40分钟;
4、采用一对无氧铜电极蒸发电极，电极间距70mm，可选用钨丝或钼舟作蒸发源，蒸发电流调节范围: 0~150A;
5、衬底可加热，衬底加热温度范围:室温~200℃;
6、工作电压:AC220V±5%，50Hz;整机功率:3kW;
7、工作环境要求:温度低于30℃，湿度≤70%;水循环用户自备。
