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平整度测试仪仪器简介

2018/06/1990 作者:佚名
导读: 平整度测试系统,采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征,在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等,可在线和离线测量。

平整度测试系统,采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征,在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等,可在线和离线测量。

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