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■厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量;
■无接触测量;
■无需校准;
■高精度、高重复性;
■样品台可选:4寸、6寸、8寸;
■强大的分析软件,可显示3D表面形貌;
■同时进行各种参数的测量,具备超高的测试速度;