平整度测试仪部分技术指标
2018/06/19234
作者：佚名
导读： ■TTV■精确度:±0.1um■重复性精度:0.01um■厚度■精确度:±0.2um■重复性精度:0.1um■测试范围:50-2000um■翘曲度/弯曲度■精确度:0.5um■重复性精度:0.2um■测试范围:200um■整机参数■测量时间:<100秒■最大测量尺寸:8寸■尺寸:550*602*291mm■整机功率:800W
■TTV
■精确度:±0.1um
■重复性精度:0.01um
■厚度
■精确度:±0.2um
■重复性精度:0.1um
■测试范围:50-2000um
■翘曲度/弯曲度
■精确度:0.5um
■重复性精度:0.2um
■测试范围:200um
■整机参数
■测量时间:<100秒
■最大测量尺寸:8寸
■尺寸:550*602*291mm
■整机功率:800W
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