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建设工程知识

高压控制系统简介

2018/06/1972 作者：佚名
导读：静电力驱动有着功耗低、响应时间短、宜于完成高频率的驱动而且结构易于实现的特点，从而广泛应用于微变形镜、微型光谱仪、微陀螺、微谐振器等MEMS器件。然而采用静电力驱动器件常常需要十分高的恒压电源，所以可以设计一种高压控制系统，满足驱动要求，使得微机械传感器的器件广泛使用 。

静电力驱动有着功耗低、响应时间短、宜于完成高频率的驱动而且结构易于实现的特点，从而广泛应用于微变形镜、微型光谱仪、微陀螺、微谐振器等MEMS器件。然而采用静电力驱动器件常常需要十分高的恒压电源，所以可以设计一种高压控制系统，满足驱动要求，使得微机械传感器的器件广泛使用 。

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