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直流磁控溅射电源工作原理

2018/06/19321 作者：佚名
导读： 直流磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及反应膜层环境使用。

直流磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负

载特性，性价比高，适用于金属及反应膜层环境使用。

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