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直流磁控溅射电源技术说明

2018/06/19255 作者:佚名
导读:电源功率范围 10-120KW 输入电源 AC380V 三相四线制 50-60HZ ±10% 输出方式 直流 输出电压 空载800V 灭弧时间 ≤ 20uS 输出电流稳定率 0.5% 冷却方式 10-60KW 风冷 60-120KW 水冷 使用环境 环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度 ≤ 85% 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃气体 通风良好 冷却水 清洁 不含矿物质及其它可溶性物质 水温 2

电源功率范围

10-120KW

输入电源

AC380V 三相四线制 50-60HZ ±10%

输出方式

直流

输出电压

空载800V

灭弧时间

≤ 20uS

输出电流稳定率

0.5%

冷却方式

10-60KW 风冷 60-120KW 水冷

使用环境

环境温度 0-40℃

环境湿度 相对湿度 ≤ 85%

空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其它可溶性物质

水温 20-30℃

压力 0.15±0.05Mpa

注:电源的输出特性可根据使用需要做出相应的调整。

*文章为作者独立观点,不代表造价通立场,除来源是“造价通”外。
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