1、SF6压缩机：

a：理论排气量：20m3/h

b：最大排气压力：5.5Mpa

c：最小吸气压力：53Kpa

d：最大吸气压力：1Mpa

e：功率：3-4KW

f：电源：380V 50HZ

2、抽真空系统采用双级旋片式真空泵 （德国LEYBOLD—D60C或2X-30A）

a：真空泵采用风冷式可长期运行

b：抽真空速率55--110m3/h

c：极限真空度0.06pa

d：功率3-4KW

3、制冷系统：法国MANEURCP主机4600 Kcal/h，R22，2.32KW，380V50HZ

4、过滤/净化系统：采用进口丹麦Danfoss滤芯等

包含油气过滤/颗粒过滤/酸性物质、分解物净化/微水过滤/ 空气CF4/滤除

5、SF6阀门： 台湾 VP球阀 SF6专用 / 美国RAGO 安全阀/减压系统

6、压力表、真空表：德国TECSIS 充液 1413 数字真空计0-104pa

7、

8、无油真空回收泵： KAWAKI JP-120H 日本