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以异丁烯和三氯硅烷为主要原料，以负载在配体上的氯铂酸为催化剂，在一定反应条件下合成得到异丁基氯硅烷之后，再利用乙醇进行酯化反应即可得到异丁基三乙氧基硅烷DB-H538。工业生产有间歇生产和连续化生产两种方式，后者生产效率和产品质量明显高出很多。
目前全球具备异丁基(烯)三乙氧基硅烷生产技术和能力的不多，比如国外有美国道康宁、德国德固赛，国内如德邦。其他由于技术原因暂时无法生产出异丁基(烯)三乙氧基硅烷，但是能生产其他氧基硅烷大类产品的还是不少。
