SCREEN Finetech Solutions Co., Ltd. 最近开发了专用于制造有机EL面板的制造设备“E系列”。从11月起开始销售支持第6代基板的有机EL背板制造工序用涂布显影机“SK-E1500G”、及触控感应面板（TSP）制造工序用涂布显影机“SK-E1500H”，打响第一阵。

SK-E1500G/H

有机EL显示器拥有精美画质及可柔性化等特点，因此以智能手机等移动终端及电视等为主的需求急速扩大，2020年的市场规模预计将增至现在的1.5倍达到480亿美元※1。但是，在有机EL面板的制造阶段，针对有机污染的对策、细小尘埃的控制及静电控制等存在困难，实现稳定供给成为函待解决的课题。

应用雄踞世界市场份额第一的液晶显示器用涂布显影机长期积累的专业技术，SCREEN开发了专用于有机EL面板的制造设备。本次发售的“SK-E1500G”和“SK-E1500H”涂布显影设备支持被称为第6代的1,500mm×1,850mm基板，确立了mini-environment（微环境控制）技术※2，可彻底控制在制造工序中产生的气体、药液成分等浮游物造成的污染及静电。通过降低基板污染，提高了成品率。并且，标准搭载了双喷嘴气浮输送方式狭缝式涂布装置“Levicoater”，可对应有机EL制造工艺必须的2种药液（光刻胶）。此外，还实现了玻璃基板的薄板化※3、TFT微细化※4，成为可适用于多样化器件产品制造工艺的装置。“SK-E1500H”基于先进的基板输送技术，可同时处理2块第6代的半尺寸基板※5，为提高生产效率做出贡献。

1. SCREEN公司调查数据

2. 无尘室的设置方式之一，设置显著高于周围清洁度的局部清洁环境。

3. 支持厚度0.3mm

4. 支持线宽／线间隔（L/S）在1.5μm以下

5. TSP制造工序中，在前工序的蒸镀工序可处理的最大基板尺寸为第6代基板的1/2尺寸。

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