对纯水设备的产水水质量监测，可以监测水中某些特定离子，由杂质离子含量反映水的纯净程度。例如在地壳中钠元素含量占第6位，钠的化合物易溶，水又是良好的溶剂。因此在水中总可检出钠离子。由水的含钠量推断水的纯度曾是主要手段之一。使用灵敏的火焰光度计可检出10μg/L以下的钠，使用原子吸收分光光度计可以准确检出0.5～lμg/L的钠。由离子色谱和离子敏感电极均可使钠的检出限达0.1μg/L。又如，海水中氯离子含量可达1.8×10(10的4次方)mg/L，检测用海水冷却的凝汽器泄漏情况，可使用氯离子敏感电极或离子色谱仪，其检出限可为lμg/L以下。

纯水在测试其电导率值时，除其中残留的盐类离子具有导电能力外，空气中的二氧化碳溶入试样中可引入很大的测量误差;如果在实验室中测量，空气中的酸气和氨都可干扰测试，这些干扰均引起正误差。因此，对纯水必须采取在线检测，而无法用实验室仪表测取电导率。

对于纯水来说，即使排除了上述诸因素的干扰，还必须考虑由于水自身解离所产生的约0.1μmol/L氢离子[H+]和约0.1μmol/L羟离子[OH-]所具有的电导率，在25℃时，其数值可达0.02μs/cm。时常见到一些电导率测量结果为O.04μs/cm或更低,这是不正确的。应对仪表进行调校。

因此，对纯水电导率必须隔绝空气、在线监测，使用常数为0.01的电导电极测量，使被测试样温度为25℃而避免校正温度引起的误差。其最低电导率应为O.05μS/cm(测量值应高于此值)。