薄膜铂热电阻由一种新的铂热电阻生产技术生产，即用膜工艺改变原有的线绕工艺，制备薄膜铂热电阻。它是由亚微米或微米厚的铂膜及其依附的基板组成。它的测温范围是-50-600℃。目前国产薄膜铂热电阻精度可达到德国标准(DIN)中的B级，技术上与国际先进水平尚有差距。由于薄膜热容量小，热导率大，而基板又是很好的绝缘材料，薄膜铂热电阻能准确地测出所在表面的真实温度。

1、薄膜铂热电阻的特点

①可制成高阻值元件(如1000Ω)，适合配用显示仪表，使用方便，稳定可靠。

②灵敏度高，响应快，在流速为0.4m/s的水中，响应时间(τ0.5)为0.15s。

③外形尺寸小(约5mm×2mm×1.3mm)，便于安装在狭小的场所。

④可大批量自动化生产，成本低，约为同类绕线电阻价格的1/2-1/3。

⑤缺点是抗固体颗粒正面冲刷性能差。

2、薄膜铂热电阻的设备

制备的方法有真空沉积及阴极溅射法等。主要工艺流程如下：基板炎魔抛光→清洗→铂蒸镀或真空沉积在氧化铝基板上→激光自动刻阻→截取单支元件→超声热压焊接引线→涂玻璃釉→通电检测与筛选。

3、薄膜铂热电阻的电阻与温度关系

铂热电阻的电阻由两部分组成：随温度变化的电阻RT及不随温度变化的剩余电阻Rt。它们的电阻与温度的关系为:

R(T)=RT+Rt=100×{1+RT/(RT+Rt)×A×T+RT/(RT+Rt)×B×T2}，公式中A和B为常数。

4、薄膜铂热电阻应用

薄膜铂热电阻的生产工艺成熟，产量高。适用于表面、狭小区域、快速测温计需要高阻值元件的场合。

最近薄膜铂热电阻制作工艺又有所改进。把铂研制成粉浆，采用感光平板印刷技术，将铂附着在陶瓷基片上形成铂膜。膜厚在2μm以内加上引线，保护釉经激光刻阻制作而成。

这种薄膜铂热电阻具有良好的长期稳定性。在600℃温度下工作1000h后，其电阻变化＜0.02%。

薄膜铂热电阻的引线随工作温度不同而异：

-200~150℃时，引线材质：钯银合金。Φ0.25mm×10mm。

-50~400℃时，引线材质：钯银合金。Φ0.25mm×10mm。

-50~600℃时，引线材质：铂镍合金。Φ0.25mm×10mm。

-60~850℃时，引线材质：铂铑合金。Φ0.25mm×10mm。

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