（1）洁净室的吊顶和隔断均采用50mm厚玻镁加岩棉夹芯彩钢板，钢板厚度大于0.476mm。地面采用2mm防静电同质透心PVC地板，有一定的承压能力。 （2）洁净室的门采用净化气密门。 （3）洁净室空调设备需要达到一定净化要求，温度要求控制在24℃±2以内，湿度控制在55％以下，噪音小于60分贝，通风管道等无明显震动。设备吊顶安装。 （4）洁净室空调风管部分包括净化空调系统的送、回、排风系统的风管、法兰及阀门等的供货与安装；风管保温采用橡塑保温（厚20mm）；洁净区域送风采用高效过滤器，回风采用格栅回风口，采用夹道回风形式。 （5）净化区域内的灯具采用吸顶式净化荧光灯，配置一定数量应急电源与疏散指示灯，以备突然断电时应急照明用；空调设备的配电，DG50线管穿线时将采用穿管敷设，当大于DG50时采用100*50的金属线槽，电缆沿桥架敷设。
