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喷嘴

2022/07/13111 作者：佚名
导读：喷嘴用来供应光刻胶和各种有机溶剂，每一个喷嘴对应一种材料，如图  所示。在整个光刻工艺中，除了曝光，其余所有的步骤都是在匀胶显影机中完成的。匀胶显影机的主要工艺单元分别有晶圆表面增粘处理，光刻胶旋涂单元，边缘曝光，显影单元等，这些单元的装置都离不开喷嘴。
喷嘴用来供应光刻胶和各种有机溶剂，每一个喷嘴对应一种材料，如图  所示。在整个光刻工艺中，除了曝光，其余所有的步骤都是在匀胶显影机中完成的。匀胶显影机的主要工艺单元分别有晶圆表面增粘处理，光刻胶旋涂单元，边缘曝光，显影单元等，这些单元的装置都离不开喷嘴。
*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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