1893年美国的里顿豪斯提出了结构简单的真空灭弧室并获得了设计专利，1920年瑞典佛加公司制造出世界上第一台真空开关。以后的年代里主要进行了真空电弧的理论和实验研究。由于真空技术和真空材料的突破，50年代美国才制成第一批适用于切 断电容器组等特殊要求的真空开关，分断电流为4kA。1961年美国通用电气公司开始生产15kV，分断电流 为12.5kA的真空断路器。1966年试制成15kV、26kA 和31.5kA的真空断路器，从而使真空断路器进入高 电压、大容量的电力系统。80年代中期真空断路器的 分断能力已达100kA。英国于1965年研制成世界上第 一台采用镶嵌式触头结构的真空接触器，并在1968年 开始推广到煤矿井下使用。由于它优异的性能特别适 合井下使用，矿用真空开关发展很快，德、日、美、波 兰、前苏联、加拿大、印度、澳大利亚等先后批量生产 各种矿用真空开关。

中国从1958年开始研制真空开关。矿用真空开关 的研制始于1977年，80年代得到全面发展，较好地满 足了中国煤矿井下供电电压等级的不断提高(380V→ 660V→1140V→3300V和6kV→10kV)以及电气设备 的更新换代。