两个激光位移传感器的激光对射,被测体放置在对射区域内,根据测量被测体上表面和下表面的距离,计算出被测体的厚度。
激光测厚仪的基本组成是激光器、成像物镜、光电位敏接收器、信号处理机测量结果显示系统。激光束在被测物体表面上形成一个亮的光斑,成像物镜将该光斑成像到光敏接收器的光敏上,产生探测其敏感面上光斑位置的电信号。当被测物体移动时,其表面上光斑相对成像物镜的位置发生改变,相应地成像点在光敏器件上的位置也要发生变化,两者之间的关系:
式中:
X、X`——分别是被测物位移和光敏器件上像斑的位移;
L、L`、α——是系统的结构参数,是根据具体使用要求而选定的。
由此可见精确地测量X`就可以得到被测物体的位移量,这就是三角法测量位移的原理。
可测范围:0~500mm
最高精度:0.5μm
测量速度:最高9400Hz
测量距离:10~200mm
被测体水平方向运动速度最高560m/min