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微电子机械系统MEMS由于利用微电子集成工艺,能制作性能价格比高、体积小、重量轻等优点的元部件引起科技界高度和重视,成为当前最热门的研究课题之一,使集成化的微型超声器件的研制和发展有可能实现。本项目利用薄膜和悬臂结构实现超声传感和传动。结合激光超声实现微型无损检测新方法,发展新交叉学科分支。