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单面紫外光刻机主要功能

2022/07/13111 作者:佚名
导读:采用掩膜对准技术,对光刻胶进行曝光,使受紫外光辐照的光刻胶发生改变,从而完成刻蚀。

采用掩膜对准技术,对光刻胶进行曝光,使受紫外光辐照的光刻胶发生改变,从而完成刻蚀。

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