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1.装置极限真空度小于10Pa
2.装置年泄漏率小于1%
3.充气系统压力小于0.8Mpa
4.系列型号:4型 真空泵速率 4升/秒(14.4m3/h)
8型 真空泵速率 8升/秒(28.8m3/h)
15型 真空泵速率 15升/秒(54m3/h)
30型 真空泵速率 30升/秒(108m3/h)
70型 真空泵速率 70升/秒(252m3/h)可选用罗茨泵机组
150型 真空泵速率 150升/秒(540m3/h)可选用罗茨泵机组