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高温热管高温热管的应用

2022/07/15254 作者:佚名
导读:国外最早的高温热管被应用于空间技术上。1970年美国RCA首次用100根高温热管排成一个宽65 cm,高108 cm的方阵,制成了一种空间辐射器,这种热管辐射器可带走50 kW热量,能减轻因流星损伤而引起的载热体的泄漏。后来高温热管开始逐渐向其他领域不断渗透。 我国高温热管的应用研究始于1978年,中国科学院力学研究所首次成功地研制成功了外延炉等温热管,采用高温钠热管作为等温元件,用于半导体材料生

国外最早的高温热管被应用于空间技术上。1970年美国RCA首次用100根高温热管排成一个宽65 cm,高108 cm的方阵,制成了一种空间辐射器,这种热管辐射器可带走50 kW热量,能减轻因流星损伤而引起的载热体的泄漏。后来高温热管开始逐渐向其他领域不断渗透。

我国高温热管的应用研究始于1978年,中国科学院力学研究所首次成功地研制成功了外延炉等温热管,采用高温钠热管作为等温元件,用于半导体材料生产中的一种掺杂工艺,使这种管式炉的等温精度从原来的± 0.1℃提高到±(0.02~ 0.03)℃,等温性能获得了很好的改进,炉子的使用寿命也明显提高。

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