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真空及缓冲气体控制系统技术指标

2022/07/15153 作者：佚名
导读：真空系统：大气状态下15分钟内可达到＜1×10-2Pa；可通入两路可控气体（N2 和Ne）最高可达100torr下完成键合。

真空系统：大气状态下15分钟内可达到＜1×10-2Pa；可通入两路可控气体（N2 和Ne）最高可达100torr下完成键合。

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