沉积速率：0.1 ~85 mm/min；速率校正：0.1mm增量；可选择的速率范围：0.2 ~ 170 mm/min；沉积周期：1~无限连续的沉积；滞留时间：0~无限秒，对于衬底移动的较高或较低的点个别调整；沉积臂：最大145mm；衬底的最大尺寸：100×100×10mm（100%浸入）；电机的类型：伺服直流电机；动态范围：0 ~ 150 mN/m；分辨率：4 μN/m；滑栈速率：0.01 mm ~400 mm/min (最大速率800 mm/min)；准确度：>99%；镀膜槽尺寸：有效面积570×150mm2，带镀膜井，槽的中心100mm深，井的尺寸115×25mm，温度范围：0~60℃；可选择的环形槽：直径100mm，深100mm，沉积角0~360°。
