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光栅技术技术历史

2022/07/15171 作者:佚名
导读:从20世纪50年代至70年代,栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、容栅和球栅,这5种测量系统都是将一个栅距周期内的绝对式测量和周期外的增量式测量结合起来,测量单位不是像激光一样的光波波长,而是通用的米制(或英制)标尺。它们有各自的优点,相互补充,在竞争中都得到了发展。但光栅测量系统的综合技术性能优于其它4种,而且其制造费用又比感应同步器、磁栅、球栅低,因此光栅发展最快,技术性能最高,市场占有

从20世纪50年代至70年代,栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、容栅和球栅,这5种测量系统都是将一个栅距周期内的绝对式测量和周期外的增量式测量结合起来,测量单位不是像激光一样的光波波长,而是通用的米制(或英制)标尺。它们有各自的优点,相互补充,在竞争中都得到了发展。但光栅测量系统的综合技术性能优于其它4种,而且其制造费用又比感应同步器、磁栅、球栅低,因此光栅发展最快,技术性能最高,市场占有率最高,产业最大。在栅式测量系统中,光栅的占有率已超过80%,光栅长度测量系统的分辨率已覆盖微米级、亚微米级和纳米级;测量速度从60m/min至480m/min。测量长度从1m、3m至30m和100m。

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