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早期超纯水的需求主要是来自发电、医药化工、造纸等行业,水质要求相对较低,其制备只要采用离子交换,该方法的主要缺点是化学药剂再生,既麻烦又不经济,而且由于强行树脂对一般有机分子除去效果差,出水中TOC含量高,随着半导体工业发展,对超纯水质量要求提高,从而大大的推动了纯水技术的发展,到了上个世纪末,膜技术得到了广泛的应用,微滤,超滤,电渗析和反渗透技术先进的水处理技术得到了飞速的发展,膜法制备纯水取代了传统的离子交换设备系统,解决了TOC问题,满足了电子行业对纯水质量的要求取设备工艺。