光伏设备指光伏制造型企业用于生产原料、电池组件、零部件等产品中使用的，并在反复使用中基本保持原有实物形态和功能的机器设备。
光伏设备主要包括硅棒/硅锭制造设备、硅片/晶圆制造设备、电池片制造设备、晶体硅电池组件制造设备、薄膜组件制造设备等5大类，各大类主要包括的设备如表所示：
| 硅棒/硅锭 生产设备 |
完整生产线 |
硅棒硅锭生长设备 |
检验/测试设备 |
| 切割/研磨设备 |
其他 |
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| 硅片/晶圆 制造设备 |
完整生产线 |
切割设备 |
清洗设备 |
| 检验/测试设备 |
抛光和研磨 |
其他 |
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| 电池片制 造设备 |
完整生产线 |
蚀刻设备 |
扩散炉 |
| 减反射覆膜制备 |
丝网印刷设备 |
其他炉 |
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| 检验/测试设备 |
其他 |
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| 晶体硅电池 组件制造设备 |
完整生产线 |
检验/测试设备 |
玻璃清洗设备 |
| 结线/焊接设备 |
层压设备 |
切割/划线设备 |
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| 组框/组角机 |
其他 |
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| 薄膜组件 制造设备 |
完整生产线 |
检测设备 |
覆膜沉积设备 |
| 切割/划线设备 |
清洗设备 |
蚀刻设备 |
