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表面轮廓综合测量仪技术指标

2022/07/15114 作者：佚名
导读：测量范围：X：200mm；Z：8mm；Y：200mm；测量精度：分辨率0.8nm/8mm；Z轴非线性度：0.07 0.03Z[mm]；角度：≤0.5min；半径：0.1-80mm1-0.005%；80-1000mm0.005%-0.1%；1000-2000mm0.1%。

测量范围：X：200mm；Z：8mm；Y：200mm；测量精度：分辨率0.8nm/8mm；Z轴非线性度：0.07 0.03Z[mm]；角度：≤0.5min；半径：0.1-80mm1-0.005%；80-1000mm0.005%-0.1%；1000-2000mm0.1%。

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