作为高压装置的内绝缘材料，六氟化硫（SF6）用得最普遍。SF6具有六个氟原子围绕中心一个硫原子的分子结构，其键合距离小，键能高，化学稳定性好，离解温度在1000K以上。它属电负性气体，极易吸附自由电子而削弱电离过程，因此介电强度很高，灭弧能力约为空气的100倍，所以它兼有绝缘和灭弧的双重性能，在高压断路器中应用日广。20世纪60年代后发展了充高气压SF6的金属全封闭式组合电器。它占用空间小，运行不受环境影响，已被用于超高压变电所及城市配电网中。充SF6的同轴管道可取代充油电缆用于高落差场合，SF6绝缘变压器具有防火防爆的优点，适用于高层建筑。
SF6本身无毒，在电弧或电晕作用下会生成一些具有毒性的低氟化合物。SF6对含硅材料如玻璃、电瓷有腐蚀性，当它含有水分时，分解物的腐蚀性更强。此外，SF6在不均匀电场中介电强度大为降低，这些均应在实际运行中加以重视。
