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微波炉加热分解法是以被分解的土样及酸的混合液作为发热体，从内部进行加热使试样受到分解的方法。
目前报导的微波加热分解试样的方法，有常压敞口分解和仅用厚壁来四氯乙烯容器的密用式分解法，也有密闭加压分解法。这种方法以案四氟乙烯密闭容器作为内筒，以能透过微波的材料如高强度聚合物树脂或聚丙烯树脂作为外简，在该密封系统内分解试样能达到良好的分解效果。
