CO2激光器工作频率按ISM规定为27～40MHz；其主要分类如下所述：

（1）按输出方式分

1）连续输出；

2）脉冲输出——调制频率高达1MHz；

3）Q开关输出——电光调Q与声光调Q。

（2）按谐振腔的工作分

1）波导腔——孔径D=1～3mm；

2）自由空间腔——孔径D=4～6mm。

（3）按激励极性分

1）单相；

2）反相。

（4）按腔体结构分

1）单腔；

2）多腔； （a）折叠腔：V型——2折；Z型——3折；X型——4折。 （b）列阵腔：短肩列阵；交错列阵。 （c）积木式：并联—2腔；三角组联—3腔。

3）大面积放电 （a）平板型，（b）同心环型。

（5）按均恒电感分布方式分

1）准电感谐振技术—用于低电容激光头； 2）平行分布电感谐振技术—用于高电容激光 头。

（6）按谐振腔材料分

1）陶瓷—金属混合型；2）全陶瓷型；3）全金属型。

（7）按冷却方式分

1）空气冷却；2）水冷却。

（8）按封装方式分

1）封离型；2）流动型。 谐振腔的材料一般为：金属—A1。陶瓷—BeO，BN、AIN、Al2O3等