由于补偿器属于高精度要求光学系统，公差分析十分必要。由于系统工作波长为单色波长，并不存在二次光谱，所以透镜的色散系数不用考虑。但是，由于补偿器透镜材料的均匀性对补偿效果有明显的影响，选择透镜材料时需要考虑折射率特性，因此透镜材料选择均匀性能良好的H-BAK7玻璃(成都光明光电股份有限公司)。公差分析过程中，不需要引入阿贝常数公差，只需要考虑折射率公差。根据调研，得出了工艺的公差容限。基于以上所述，对设计结果按照给出的公差条件进行敏感度分析，将装配时补偿器最后一面到被检测面之间的空气间隔作为系统公差的补偿，部分结构参数变化引起的波像差RMS值变化不明显。非球面补偿器系统的结构数据与透镜曲率半径和透镜厚度的加工误差可以求出，当结构参数发生变化时，系统波像差RMS 变化的最大量为800.6。该系统的曲率半径和其厚度在加工公差范围内变化时，系统性能变化不大。 2100433B
