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1、预混原料 :ArF、KrF、XeCl 2、最高频率: 300Hz 3、最大脉冲能量: 25mJ、40mJ、20mJ 4、脉冲能量稳定度:±2% 5、脉冲宽度: 10-15ns、10-15ns、15-20ns 6、即时脉冲宽度稳定度:±2ns 6、光斑发散角: 2×4mrad 7、光斑尺寸: 4×12mm 、5×12mm 、5×12mm 8、功率要求: 1.5kW 9、输出接口: FC。