ICP应用的高频发生器有自激式和他激式（晶控式）两种基本类型。自激式是由一个发射管同时完成振荡、激励和功率放大等功能，他激式则是振荡与激励和功率放大等分开。自激式的优点是电路简单、调试容易，当振荡电路参数变化引起频率迁移时，有自动补偿作用，对功率输出影响较小且造价较低，缺点是功率转换效率低，振荡频率稳定度不高（一般在5%～20%范围内）。他激式的主要优点是振荡频率稳定（频率变化一般低于10^-4），功率稳定（变化小于1%），功率转换效率高，抗干扰能力强，可直读功率，此外由于采用了高频电缆，容易将ICP形成装置与发生器主体分开放置，给光源与各种摄谱仪空间位置的配合也提供了方便缺点是线路复杂，造价高。

作为ICP光源，高频发生器的主要指标有四项：工作频率、频率稳定度、输出功率和功率稳定度。

商品ICP仪器多采用较高的频率（27～50MHz）和较低的功率（1～2.5kW），而Greenfield等提倡采用大功率和较低频率的发生器，他们认为这种条件的优点是有较高的检出能力和精密度，而且能消除带状光谱的干扰和化学干扰。

已知趋肤深度S =（1/πσμf）^1/2，式中σ是电导率、μ是磁导率、f是高频电流的频率，可见频率的变化直接影响到趋肤深度，亦即影响ICP通道的稳定性。因此，要求频率稳定度越高越好。

功率大小直接影响到ICP火焰的温度，所以要求功率稳定度较高，要求长时间工作无功率漂移，一般要求功率稳定度最好优于0.1%。

此外对高频防护有一定的要求，劳动部暂定安全标准，要求高频电场强度应小于20V·m^-1，高频磁场强度应小于5A·m^-1 。