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超净车间,对室内洁净度要求特别高的车间。室外空气需经初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器以后进入车间。以单位体积空气中可含的尘粒数为控制指标。进入超净车间的人员和物料均需通过一定净化程序。适用于生产高精密产品。