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样品制备仪器系统技术指标

2022/07/15123 作者:佚名
导读:双离子枪,最大研磨角:±10°,离子束能量: 1.5~6 keV,真空度: 5x10-6 Torr。

双离子枪,最大研磨角:±10°,离子束能量: 1.5~6 keV,真空度: 5x10-6 Torr。

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