| 工位 |
工位名称 |
超声波 |
清洗液 |
循环泵 |
过滤器 |
附加 |
储液箱 |
| 1 |
浸泡漂洗 |
40KHz，900W功率可调 |
环保水性清洗剂 |
/ |
/ |
/ |
/ |
| 2 |
超声水剂清洗 |
40KHz，900W功率可调 |
环保水性清洗剂 |
小巨30W |
20μ |
抛动 |
有加热、冷却、缺水报警 |
| 3 |
超声水剂清洗 |
40KHz，900W功率可调 |
环保水性清洗剂 |
小巨人30W |
10μ |
抛动 |
有加热、冷却、缺水报警 |
| 4 |
超声纯水漂洗 |
40KHz，900W功率可调 |
纯水 |
/ |
/ |
抛动 |
由第6槽溢流进入，溢流后直排 |
| 5 |
超声纯水漂洗 |
40KHz，900W功率可调 |
纯水 |
/ |
/ |
抛动 |
由第7槽溢流进入，溢流后直排 |
| 6 |
超声纯水高频漂洗 |
40KHz，900W功率可调 |
纯水 |
/ |
/ |
抛动 |
由预热箱进入，溢流后进入第4槽 |
| 7 |
超声纯水高频漂洗 |
40KHz，900W功率可调 |
纯水 |
/ |
/ |
抛动 |
由预热箱进入，溢流后进入第5槽 |
| 8 |
超声IPA脱水 |
80KHz，900W功率可调 |
IPA |
小巨人30W |
0.5μ |
抛动 |
冷却 |
| 9 |
超声IPA脱水 |
40KHz，900W功率可调 |
IPA |
小巨人30W |
0.1μ |
抛动 |
冷却 |
| 10 |
超声IPA脱水 |
80KH900W功率可调 |
IPA |
小巨人30W |
0.1μ |
抛动 |
冷却 |
| 11 |
IPA蒸气干燥 |
/ |
IPA |
/ |
/ |
上方冷排 |
顶部FFU系统，双层冷却 |
