感光性橡胶作为成像材料,可用于印刷领域、集成电路(IC)、印制电路板等电子产品的制造。感光性橡胶而言,具有灵敏性、解像清晰、耐久性、耐腐蚀性等特点。感光性橡胶可以分为两类:一种是在橡胶中添加感光剂,另一种在橡胶结构中导入感光性基团。感光剂可用芳香族重氮化合物、芳香族迭氮化合物、有机卤化物等。感光性橡胶的两大用途是制造感光苯胺印制板和集成电路用的光致抗蚀膜。
(1)感光性苯胺印制板。感光性橡胶从底片直接曝光而制得橡胶凸板,因为其解像力强、印刷精度高、具有弹性,适用于高级印刷,在粗糙表面也能获得清晰的印刷效果。
(2)光致抗蚀膜。橡胶类光致抗蚀膜的缺点是显像时产生膨胀而使解像度降低。但是因为涂膜强韧适于密着曝光,所以被广泛地应用。阴性型光致抗蚀膜可用在NR、IR、BR的环化物中添加感光剂的材料,但因NR存在凝胶、灰尘等问题而几乎不能使用。IR的环化可用氯化锡等路易斯酸进行;BR的环化可用有机卤化铝进行。当环化率较高时Tg值也增高,而灵敏度将会下降,故应有一个最佳环化率。BR最佳环化率在60%左右,在IR的场合,环化率在80%以下为佳。BR为典型的商品橡胶类光致抗蚀膜,感光剂可用的双叠氮型感光剂,橡胶类阳性型光致抗蚀膜很少见。一般使用在甲阶酚醛树脂中添加叠氮化合物的材料,并利用UV辐射可形成碱可溶性的方法制造。这种材料的解像度高,但缺点是皮膜较脆。为获得皮膜强韧的阳性光致抗蚀膜,赋予橡胶弹性将是手段之一,例如:光分解性的聚异丁烯类橡胶对UV的敏感度较低。