分类
微传感器的分类:
根据是否有能源供应,可以分为有源微传感器(例如:压电)和无源微传感器(例如:荧光)
根据微传感器所能测量的对象不同,还可以分为如下九类:
机械微传感器:用于力、形变、位移和速度等测量的微传感器。
电学微传感器:用于电流、电位、电阻和电容等测量的微传感器。
磁学微传感器:用于磁场大小、磁场极性、磁通和磁导率等测量的微传感器。
热学微传感器:用于温度、比热容、热导率和热容量等测量的微传感器。
声学微传感器:用于波幅、相位、偏振和声谱等测量的微传感器。
光学微传感器:用于光谱、波速、波幅和相位等测量的微传感器。
辐射微传感器:用于X射线、紫外线、微波和无线电波等测量的微传感器。
化学微传感器:用于成分、浓度、湿度和PH值等测量的微传感器。
生物微传感器:用于荷尔蒙、抗原、醣和生物量等测量的微传感器。