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多层绝缘薄膜绝缘体上硅材料，英语缩写SOIM。具有多层绝缘衬底的绝缘体上硅材料。克服常规绝缘体上硅结构中由于二氧化硅绝缘埋层的低热导率而存在着自加热问题。如氮化硅薄膜较二氧化硅绝缘薄膜具有更高热导率，采用不同比例的二氧化硅与氮化硅制成薄膜作埋层，可获得不同热导率的半导体材料。还可通过这种结构提高绝缘体上硅器件与电路的抗辐照性能。
