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介质薄膜性能

2022/07/15225 作者:佚名
导读:在薄膜电路中,使用的A1、Nb、Zr等金属薄膜,是在电解液中用阳极氧化形成。薄膜的厚度取决于外加电压。每伏电压形成的介质厚度称为阳极化常数。铝的为1. 36nm/V。

在薄膜电路中,使用的A1、Nb、Zr等金属薄膜,是在电解液中用阳极氧化形成。薄膜的厚度取决于外加电压。每伏电压形成的介质厚度称为阳极化常数。铝的为1. 36nm/V。

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