提出了采用压电陶瓷与金属橡胶两种材料来设计(超)高压精密流量阀并开展其机理研究:利用压电陶瓷驱动流量阀的主阀芯,以实现对阀芯与阀体开口间位移的精密控制,进而实现对阀口开口量的控制,达到对阀出口处流体流量及压力控制的目的;利用金属橡胶材料的多孔性以及减压、隔振、降噪、过滤等特点,实现对阀出口处流体脉动的平纹波处理,确保阀出口处输出流量、压力的稳定性。结合伺服控制技术,将该阀与单片机控制系统组成闭环系统,可实现对阀的出口流量、压力的自适应调节,成为压力/流量伺服阀,以此开展(超)高压精密伺服阀机理、性能以及控制方法的研究。研究金属橡胶孔隙度与阀出口压力/流量关系,建立压电陶瓷与阀出口流量、压力的机-电-液混合模型。开展压电陶瓷驱动技术、(超)高压流量/压力阀、伺服阀的流量控制、减压机理、伺服实现等的研究,对促进我国(超)高压精密液压伺服元件、伺服控制及微流体控制技术的发展,具有重要意义。