1920年左右，真空感应炉开始用于熔炼镍铬合金。直至第二次世界大战，由于真空技术的进步，使真空熔炼真正开始发展起来。50年代中期至60年代末，是真空熔炼发展最迅速的时期，无论是理论研究还是设备的容量、结构形式及产品种类都有很大发展，达到了高度工业化水平。真空感应炉最大容量已达60t;真空电弧重熔锭重达52t;电子束炉功率达12000kW。70年代至今，真空熔炼处于稳定发展时期，稳定并继续完善工艺，扩大应用并逐步向自动化和程序控制方面发展。中国自50年代开始对真空熔炼技术进行研究，到90年代已能设计制造1.5t半连续真空感应炉及5t真空电弧炉。主要特殊钢厂及有色金属加工厂建有真空感应炉、真空电弧重熔炉及电子束炉，形成了一定的生产规模。
