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自动压力控制系统,配有15吨的测压元件和读出器; 5.5英寸乘10英寸的石墨加热区,温度可达到1400度; 机械真空泵系统,真空度可达10-2torr;配有水冷机; 工艺气体:可以在真空和氩气气氛下工作; 配有计算机控制和相应程序。