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扫描三维表面轮廓仪技术指标

2022/07/15114 作者：佚名
导读：接触式横向扫描范围：150mm(3D扫描范围150mm×150mm)大尺寸纳米级平整测量平台：150mm×150mm接触式最大样品高度：50mm(或100mm)光学膜厚测量厚度范围：1nm-100um光学厚度分辨率：0.1nm光学厚度重复性：0.3nm。

接触式横向扫描范围：150mm(3D扫描范围150mm×150mm)大尺寸纳米级平整测量平台：150mm×150mm接触式最大样品高度：50mm(或100mm)光学膜厚测量厚度范围：1nm-100um光学厚度分辨率：0.1nm光学厚度重复性：0.3nm。

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