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自动吹洗组件aulrxmatic purge assembly全程序笼扣故信息处理机控制器可实现系统的自动吹洗。“丁以很容易地改变吹洗参数，例如阀门顺序，吹洗循环次数和吹洗时Gs]等。系统的吹冼硬科响应于来自指令部分的气动信号，启动无填料膜片阀.硬件还包括真空发生器，用于每次抽空系统。自动吹洗组件适用于吹洗有毒、腐蚀性电子气体以及高纯气体处理系统。
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